該型號屬于橫河 EJX530A 表壓變送器，其工作核心依托DPharp 數(shù)字單晶硅諧振傳感器技術(shù)，整體流程圍繞壓力信號的采集、轉(zhuǎn)換、處理及輸出展開，同時(shí)搭配自檢診斷機(jī)制保障測量可靠，具體工作原理如下Yokogawa Electric Corporation：

壓力感知與諧振梁應(yīng)變轉(zhuǎn)換

變送器核心的單晶硅芯片采用微電子機(jī)械加工技術(shù)制作，表面中心和邊緣設(shè)有兩個(gè)形狀、大小一致的 H 形諧振梁，且置于微型真空腔中，避免與充灌液接觸及空氣阻尼對振動(dòng)的干擾。當(dāng)被測介質(zhì)的壓力作用于變送器的測量膜盒時(shí)，壓力會傳遞至單晶硅片。單晶硅片受力后發(fā)生形變，使得中心的諧振梁受到壓縮力，邊緣的諧振梁受到張力。而諧振梁處于磁鐵提供的磁場中，還與變壓器、放大器構(gòu)成正反饋振蕩回路，受壓與受拉的不同狀態(tài)會改變諧振梁的振蕩頻率 —— 受壓的中心諧振梁頻率降低，受拉的邊緣諧振梁頻率升高。

信號采集與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)運(yùn)算

振蕩回路產(chǎn)生的兩個(gè)不同頻率信號會被脈沖計(jì)數(shù)器采集，計(jì)數(shù)器將兩個(gè)頻率信號的差值傳遞給變送器內(nèi)部的 CPU。同時(shí)，變送器的膜盒組件中內(nèi)置特性修正存儲器，預(yù)先存儲了傳感器的環(huán)境溫度、靜壓及輸入輸出特性修正數(shù)據(jù)。CPU 在接收頻率差值信號后，結(jié)合這些修正數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算，以此補(bǔ)償溫度、靜壓等因素對測量結(jié)果的影響，保證在不同工況下測量的準(zhǔn)確性。

信號輸出與外部通信交互

CPU 處理后的信號經(jīng) D/A 轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為 4 - 20mA 的標(biāo)準(zhǔn)模擬電流信號輸出，該信號與被測壓力呈對應(yīng)關(guān)系，可直接對接常規(guī)的控制系統(tǒng)或顯示儀表。此外，該變送器還支持在模擬信號上疊加 BRAIN 或 HART 數(shù)字信號，通過 I/O 口與手持智能終端、DCS 帶通信功能的 I/O 卡等外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)數(shù)字通信，通信過程中數(shù)字信號不會對 4 - 20mA 模擬信號產(chǎn)生干擾，方便人員進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)讀取和設(shè)備調(diào)試。

持續(xù)自檢保障運(yùn)行可靠

作為主動(dòng)式傳感器，DPharp 傳感器即便在工況無變化時(shí)也會持續(xù)輸出信號，配合變送器的雙重自檢機(jī)制保障運(yùn)行。一方面通過后檢技術(shù)對所有計(jì)算過程實(shí)時(shí)反向核查；另一方面一旦出現(xiàn)信號丟失等異常，能快速識別故障。其具備的 40 個(gè)自我診斷檢查功能，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)內(nèi)部電路、傳感器等部件的問題并反饋報(bào)警信息，減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間Yokogawa Electric Corporation。